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AS ONE冷却水循环装置 采用高扬程泵(最大流量40.7/44.6L/min・最大扬程13.6/19.1m),即使循环对象阻力较大也可实现顺利循环。 标配旁路阀,可调整流量大小。 可进行纯水循环,所以可作为半导体制造装置的冷却设备使用。 标配外部运行、外部报警输出端子、外部报警输入端子/远程操作端子。
AS ONE循环冷却装置 可设置于工作台下方的紧凑式冷却循环装置。 可轻松完成循环液的填充,废液从装置上部排出。 带防止液位过低功能。
AS ONE低温循环装置专用两层喷嘴 通过直接安装在IN、OUT口,可将盐水供给设为2线。 可简单快速安装。